二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9157018 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是为了最高效率、准确性和可靠性而设计的高性能晶圆测试和计量设备。它提供了从0到6035埃的电气和光学参数的晶圆级测量,并提供了对晶圆性能的详细了解,使制造商能够更好地了解其产品。该系统包括可伸缩双轴反射计（ARDER），用于直排反射率测量；用于晶圆标准顶部和侧面视图的自动晶圆映射显微镜；以及用于测量和分析的高级彩色成像和亮度数据。它使用户能够灵活地处理集成电路（IC）和非IC测试件,这要归功于它对6.035 nm的晶圆频谱的全面覆盖。ADE MicRhoSense 6035具有高达230dBs的高动态范围，以及5mm的最小线宽，适用于测量具有狭窄特征、细线、薄层的模具。此外,该设备还可以处理多种材料,具有较高的吞吐量,并提供可靠的校准和验证。它配备了自动增益和偏移校正算法，以提高准确性和可重复性。机器还具有内置的自测（自动缺陷检查）功能，可用于自动化的过程中诊断。KLA MicRhoSense 6035具有高度可定制性,提供多种选项,例如用于数据评估和分析的高级软件,以及各种附件,如分束器和偏振器,以及各种微观检查和计量工具。该工具设计效率最高，精度最高，适用于晶片生产中的各种应用，如故障分析，以及过程控制、缺陷检测和鉴定。该资产为生产和工程团队以及半导体公司和晶圆制造设施提供了全面的解决方桉。