二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301379 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一种先进的晶圆测试和计量设备。它能够产生高度精确的测量结果，这是半导体设施晶圆制造工艺的关键。该系统采用模对数据库体系结构，可以直接比较测量结果与参考光掩码和各种半导体工艺节点之间的关系。这样可以确保晶片制造工艺达到最高精度标准。ADE MicRhoSense 6035包含多个设计元素以确保准确性,包括高级模式识别功能和自动阈值。这种模式识别利用专有算法来确定存在缺陷的类型，如短路或开路，然后定义缺陷相对于参考光掩码的位置。这允许单位精确测量给定缺陷的参数，如高度或面积，并执行各种类型的缺陷分析。KLA MicRhoSense 6035还设有专门的对齐机。该工具使用高精度光学和精确运动和旋转级，以确保晶片相对于参考光掩模的精确定位。这使得精确的测量能够以可重复的精度进行。此外，该资产还具有超短波长激光计量技术，用于高精度测量临界尺寸。这对于评估晶片产量和可重复性至关重要。MicRhoSense 6035使用了几种检查模式，以确保结果的最大精度。这些包括轮廓映射、缺陷检测和故障隔离、晶圆映射和类缺陷分析。这些模式是在软件算法中实现的，这些算法能够进行比传统检查系统精确得多的测量。最后,TENCOR MicRhoSense 6035具有直观的用户界面,可以快速轻松地设置和校准模型。此外,设备还可以访问大量的设置参数库,这些参数库可根据特定制造商的需要进行定制。这使用户能够最大限度地提高准确性并最小化设置时间。所有这些功能结合起来，提供了一个全面的晶圆测试和计量系统，能够处理最苛刻的半导体制造过程。