二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301390 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一款功能强大的晶圆测试和计量设备，旨在实现半导体制造业的过程控制。该系统能够快速检测和分析晶片上的缺陷,同时提供对工艺层特征大小的精细粒度分析,无论是在沉积过程中还是在制造过程的后期。该单元由一个专门的自动光学显微镜（AOM）组成，该显微镜提供图像捕捉和手动测量，具有高达10倍至100倍的变焦功能，并为不同的层提供各种滤镜。一台先进的自动聚焦机能够聚焦在表面1 um以内的层上,并且刀具可以处理从1"、2"、3"到12"不等的晶圆尺寸。资产的用户界面非常直观，易于使用。该软件为自动测量提供了一个简单的设置,例如跨多个模具或层的特征大小、缺陷密度、迭加和CD,以及按类型分类的缺陷。软件的可编程性质还允许自定义跟踪数据收集和分析、缺陷阻抗校正和高级算法。该模型还具有缺陷审查站,它允许使用3D轮廓和迭加测量对缺陷进行更详细的分析。此外,SmartRing分析还可用于比较流程实践、诊断结果和采取纠正措施。综上所述，ADE MicRhoSense 6035为晶圆测试和计量提供了强大的平台。先进的自动对焦、缺陷分类和跟踪数据分析功能使缺陷检测和工艺层审查能够快速准确。该设备具有直观的用户界面和强大的缺陷审查功能,可确保高效、精确的过程控制。