二手 ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301392 待售

ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一种精密的晶圆测试和计量仪器，设计用于晶圆制造的大批量生产和质量保证。它采用紧凑的模块化设计,占地面积小,样品准备要求最低。该设备围绕一个先进的图像处理子系统构建,该子系统可快速识别晶圆缺陷,如划痕、颗粒和表面缺陷。它还执行无损3 D计量测量,具有可自定义的采样点和高精度级别。ADE MicRhoSense 6035配备了集成的机器人系统，可实现自动导航和样品处理。该单元还配置用于高容量晶片加载，具有左右进料操作和减振样品支架。这样可以确保样品的运输和处理速度极快,而且精度极高。KLA MicRhoSense 6035的缺陷检测功能部分由其集成智能成像平台驱动。这个创新的软件引擎使用先进的算法来实现自动粒子检测，并分析平面和图样样品的晶圆损伤。此图像处理子系统可根据个别用户需求进行配置,并能够识别各种缺陷,如周期性缺陷、持续缺陷和随机缺陷。MicRhoSense 6035还具有激光散射阵列，用于晶圆表面地形的高速、非接触式3 D映射。这样可以精确测量平面纹理和复杂结构化曲面的噪声级别非常小。这台机器还针对高吞吐量操作进行了优化，估计每个样品的采集时间为50秒。最后,为了提高工作效率和易用性,TENCOR MicRhoSense 6035与自动ADE软件平台兼容。这些功能允许在单个平台上轻松集成和操作,其软件工具具有高级计量算法,可用于快速、准确的数据分析。这些功能以及成本效益确保了ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035是一个功能强大但用户友好的测试和计量解决方桉,可满足任何晶圆制造需求。