二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 4830 #9239558 待售
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来自ADE、KLA和TENCOR的ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830晶圆测试和计量设备设计用于晶圆尺寸和底层的精确、大体积测量。该系统提供了多种工具来测量晶圆厚度、平坦度、粒径和其他深度特征。ADE Microsense 4830单元的核心是超精确非接触测量技术。使用这种方法,传感器可以读取精度低至0.1微米、分辨率小至1纳米的数据。这种测量技术以光学相移干涉法为基础,利用激光精确测量晶圆表面。此外,这台机器还能检测到微粒,测量微粒大小,从0.1微米到500微米。KLA Microsense 4830工具设计用于扫描半导体晶片的整个表面。该资产可以处理200 mm以下的晶片,而无需手动调整。它还有一个可靠的校准程序,用于每次精确的晶圆测量。除了测量精度和精确度外,TENCOR Microsense 4830模型还集成了用于有效晶圆计量的计量过程。这种设备允许用户分析晶圆的底层,不需要额外的调整。该系统为底层提供精确的3D地形,可以收集2纳米范围内的深度数据。Microsense 4830单元是一个包括各种工具和配件的多合一包。该机器包括用于控制测量参数的软件,以及广泛的晶圆测量工具库。该工具还包括晶圆测量站、样品扫描台和附件。ADE/KLA/TENCOR Microsense 4830资产是一种先进的晶圆测试和计量模型,可提供精确、大容量的测量。该设备具有非接触式测量和广泛的3D地形功能,是半导体和电子制造商的宝贵工具。
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