二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9269080 待售
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ID: 9269080
Wafer measurement system
For wafer thickness
Approximate granite fixture, 8"
With large anvil style table
To hold small / Large substrates.
ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033晶片测试计量设备是一种用于半导体晶片无损评价的精确仪器。利用精确的光学扫描技术,对晶圆厚度、地形、表面、材料成分和折射率进行精确测量。该系统能够测量十几个临界参数,包括平均薄膜厚度、标准差、层可重复性、薄膜速率、平整度和粗糙度。ADE Microsense 6033具有强大的低功耗照明源,用于一致的高分辨率测试和计量。该光源以图样投射激光微束穿过样品晶片,以便精确测量图样内的每个点。这种独特的模式有助于确保测试结果的可重复性和统一性。此外,该单元还配备了先进的晶圆调整器,可精确测量整个表面的样品晶圆曲率、厚度和粗糙度异常。此功能可确保在评估过程中进行准确和精确的测量。KLA Microsense 6033还具有光学、电子和软件的集成机器。这包括内置CCD相机、数字图像采集和信号处理能力,从而导致快速、准确的无损晶圆测试和测量。该工具为用户提供了一套全面的数据分析工具,包括二维图形显示、直方图和表格数据集。这项资产在半导体行业有许多实际应用。它可用于快速晶片检测、掺杂映射、标记模式检测、快速故障分析、过程审核和晶片表征。以其易用性、先进的特性和高精度的测量,强烈推荐使用Microsense 6033。其广泛的探测操作电子控制和成像功能为用户提供了自信地识别和解决关键问题所必需的工具。在许多行业领先的SEM、晶圆制造商和测试专业人员中,该模型已被证明是一个有价值的工具。
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