二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033 #9301382 待售

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033是先进晶圆技术中材料表征和自动化计量解决方桉的综合系统。该系统由基于激光干涉测量的扫描仪、一个处理单元以及一系列用于控制和测量晶圆测试参数的附加附件组成。激光干涉测量扫描仪是专门为提供高精度测量，其专利的高分辨率矢量光传感器。它可以快速分析各种地形数据，包括步高、表面粗糙度和平坦度。处理单元包含两个高分辨率图像传感器、两个数字信号处理（DSP）单元和两个独立的16位算术处理器，用于增强数据处理。它还具有用于实时图像分析的四通道数字图像处理器，以及高达32GB的内存存储容量。附加的附件包括易于高度调节的多级伸缩头、用于数据可视化的高分辨率彩色液晶显示屏以及用于快速数据采集的高速数据传输能力。为确保准确性和可重复性，系统在其软件中采用了专利的多通道算法（MPA）进行自动数据收集。MPA在一次扫描中编译来自多个通道的数据,以确保最高的准确性。优化的扫描速度可确保快速分析,而不会影响数据的质量。此外,该设备还设计了多种功能来保护正在测试的样品,例如防振安装脚和一个特殊的尘埃室,以减少灰尘对数据的影响。ADE Microsense 6033有一系列的应用，从表征半导体晶片到测量任何复杂表面的表面污染。也可用于测量基板上的介电层、气层、液层厚度。KLA Microsense 6033具有高精度、快速扫描速度和先进的特性，非常适合计量测试，被证明是最可靠的晶圆测试和计量系统之一。