二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9281713 待售

ID: 9281713
晶圆大小: 12"
Wafer thickness system, 12".
ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是在晶圆制造过程中测量薄膜厚度和临界尺寸时实现高精度和高精度。该系统在整个晶片表面提供高分辨率、无损的薄膜结构计量,而无需额外的、昂贵的光学显微镜。这样可以进行更可靠、更快的晶片测试和测量,最终提高晶片制造工艺的产量和生产率。该单元是建立在一个硬化,闭环自动平台,确保快速和准确地实施最新的测量技术。该机器结合了高光学分辨率和数字图像处理器,以便在晶圆表面上提供详细的地形图。这样,即使是最小的特征也可以进行精确的可视化和分析,并可以快速准确地进行测量。该工具配有两个信号束和两个探测器阵列,以实现最大的定义和准确性,同时测量各种基材材料和应用的相对范围。组合的信号束和探测器阵列允许每秒超过10,000次测量。这使得它成为高级IC和WLP结构的理想计量工具。借助用于监控性能和检测故障的板载软件,资产可以持续监控自身性能并根据需要进行校正,以确保准确的吞吐量。ADE Microsense 6033T还具有许多用户友好的功能,便于设置和操作。这包括自动对准例程,以确保模型传感器的准确指向,以及基于GUI的简单操作员界面。它还带有许多不同的模式,如区域扫描、扫描转换、边缘跟踪和线路跟踪。它们提供了灵活性并加快了周期时间测试和测量。总体而言,ADE的KLA Microsense 6033T是一种高精度晶片测试和计量设备,设计用于对晶片表面的薄膜结构进行快速、准确和可靠的测试和测量。该系统提供了速度、精度和灵活性的完美结合,使其成为一系列晶圆制造应用的理想选择。
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