二手 ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9301384 待售

ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T是用于半导体制造过程的晶圆测试和计量设备。它是一个高度精确的自动化系统，能够用纳米分辨率测量细线宽和晶圆缺陷。ADE Microsense 6033T是一个由多个组件组成的集成计量平台。它具有最先进的先进Hexa-LEXSR白光干涉仪、全自动晶圆映射器和指示器以及增强的3D角度查看器。它采用精密机器人运动控制、亚微米编码器和低噪声立体变焦显微镜。这种特征的组合可以在微观层面上有效地检测和分析孤立的和参数化的缺陷。该设备在控制自动晶圆映射器和处理器的英特尔机架安装处理器上运行。它配备了可编程逻辑控制器（PLC）电路内测试仪，以及用于精确电机控制的精密直流伺服电动机。为了正确测量晶片,机器使用Hexa-LEXSR干涉仪和3D角度检视器作为其光学传感器。黑白光干涉仪允许精确、低噪声的测量，而3D角度的观看器可以揭示晶圆各层的隐藏缺陷，并能够捕获参数缺陷。为了分析晶片缺陷，KLA Microsense 6033T采用了五种不同的算法：一种定位表面缺陷的聚焦算法；四种图像处理算法检测缺陷；以及用于分析细晶粒缺陷的边缘检测算法。一系列板载数据采集板使工具能够以极高的速度和准确性积累大量信息，并查明缺陷的位置。显微6033T是一种广泛用于测量晶圆缺陷的强大设备。凭借其多方面的设计和高精度的工具，该资产能够为半导体行业提供准确可靠的晶圆分析，最大限度地提高工艺生产率和生产精度。