二手 ADE / KLA / TENCOR MicroXAM #9181335 待售

ADE/KLA/TENCOR MicroXAM是一种综合性晶圆测试和计量设备,旨在应对当今日益复杂的计量和缺陷检测挑战。该系统结合了前沿光学、自动化和图像处理算法，提供准确、无破坏性的厚度测量和缺陷检测。这一多合一单元还实现了极高的吞吐量、灵活性和可扩展性,提供了非常快速的数据访问以及详细的分析和报告。ADE MicroXAM的核心功能包括：自动晶圆映射-该机器利用高级扫描仪精确地映射每个晶圆的地形和缺陷轮廓。高分辨率成像-成像子系统支持多种光学配置,可实现分辨率、大视野和最佳检测性能。高吞吐量优化策略使该工具能够提供高吞吐量质量的晶圆测试。缺陷检测-KLA MicroXAM可以检测到诸如颗粒污染、裂纹扩展和角变色等缺陷,精度极高。同时测量晶片-资产能够一次自动测量多个晶片。可扩展性-可以对模型进行扩展,以提高自动测试速度和吞吐量。灵活晶片处理-TENCOR MicroXAM提供多种晶片处理机制,包括输送机和旋转盒式磁带,能够快速可靠地加载和卸载晶片。快速数据访问-数据可以在几秒钟内传输到其他分析和报告系统。卓越的报告功能-强大的报告工具允许对流程产量和实际测量操作进行详细的监视和控制。MicroXAM非常适合有效地满足高级节点设备和更传统的SiGe、复合半导体和MEMS应用的独特需求。这种功能强大的设备是高度可靠和可定制的,当与自动化制造过程结合使用时,可提供准确、可重复的数据,以改进对过程的理解、监控和控制。