二手 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9211013 待售
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ID: 9211013
晶圆大小: 4"-8"
Wafer measurement system, 4"-8"
Single elevator
2D Contour map
ASC2000 Controller
Thickness centerpoint
Five point and full wafer scan
3 Point / Best fit reference: Bow and warp shape
500nm Design rule: Multifunctional dimensional measurements
GAST Vacuum pump
Data points: 8700 / 60 Seconds.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500是一个高端晶圆测试和计量系统,旨在确保微电子关键元件的质量控制。它通过提供对任意数量不同参数的精确测量,迎合了苛刻的微电子工业。9500非常适合自动化过程,在条带和晶圆关键参数方面提供业界领先的速度和效率。内置计量站测量晶圆背面特性、传感器直流和交流参数、板高和隆起力等多种不同特征。9500提供3D层轮廓测量,提供晶圆表面质量的准确信息。它的高分辨率过程可以检测到表面缺陷和小至1um的损坏。其独特的3D层识别算法产生精确的测量,可以保存并与不同的晶圆进行比较。这款9500机型还具有双光源校准功能,图层扫描速率高达75毫米/秒,主页可自定义多达30个用户定义设置。其先进的计量能力根据使用的材料预测不同的行为,这有助于降低成本和测试时间。9500还以其快速的处理和分析时间而闻名。高级后处理功能可以通过多个层次的分析快速生成结果,从而无需运行其他测试。此外,用户友好的图形用户界面(GUI)还提供各种预设配置来自定义测试。此9500特定于型号的GUI提供了有用的实时反馈以及所有标准统计参数,可最大程度地控制测试过程。ADE Ultragage 9500提供了精密计量方面的最佳产品,具有广泛的参数以确保晶圆的关键质量控制。KLA Ultragage 9500凭借其全面的计量工具、静力学、后处理功能、快速处理解决方桉和可定制的GUI,是微电子测试和质量控制的杰出系统。
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