二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9036357 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300是晶圆测试和计量设备，允许工程师在生产过程中测量集成电路性能。它通过采用光电测量技术、缺陷成像和粒度分析等复杂指标，用于检测芯片和子系统在回编过程中的不符合。该系统提供了三种同步控制的成像模式：激光散射（LS）、暗场（DF）和亮场（BF）,可实现视觉精确的缺陷识别和精确的自动缺陷分类。缺陷识别得到强大的编程算法的帮助，这些算法能够识别线性、矢量和芯片级缺陷。ADE UltraScan 9300还配备了用于晶圆数据管理的车载PC，以及用于数据精度验证的高级单元反馈算法。其硬件集成到4轴机器人测量平台中，以提高晶圆对晶圆的一致性，减少误报。它有一个上层偏振滤波器和光散射检测器，两者都有适应性强的通带中心进行精确测量。在功能方面，机器从初级测量中获取输入，如激光散射（LS）或暗场（DF），并评估几个参数包括对比度、分辨率、噪声、背景噪声和均匀性。然后将测量数据转换为有用的性能指标，在线性强度、矢量强度和模模均匀性等领域进行数据捕获和分析。该工具还包括Smartyield软件的各个方面，允许追踪芯片上的个别缺陷，以及随后识别受影响的电气元件。这使工程师能够快速准确地隔离不符合要求的情况并进行相应调整。综上所述,KLA ULTRA SCAN 9300是一种先进的晶圆测试和计量资产,具有多种成像模式、多种数据分析方法以及功能强大的板载PC,可用于改进数据管理和反馈监控。它可以跟踪个别缺陷并隔离不符合要求的情况,从而使工程师能够快速高效地解决问题。