二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9241348 待售
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ID: 9241348
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
Single end effector robot
ASC System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Dual high / Low res station
Light curtain
Dual end effector robot
Wafer typing
ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300设备是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量解决方桉。它使制造商能够更有效地跟踪晶片中的缺陷条件,从而改进半导体制造过程控制和产量管理。该系统提供2D和3D格式的高速晶圆扫描和分析,分辨率高达1.35 µm。它配备了10倍和4倍光学显微镜,均具有先进的图像处理功能。自动显微镜级控制器允许X-Y、Z轴运动和内置校准轮廓的精确定位。除了精确的晶圆映射外,ADE UltraScan 9300还提供了自动缺陷检测功能,从而能够更快、更准确地进行缺陷分析。对该单元的光学器件进行了调整,以优化各种条件下的图像采集。其高功率激光和传感器具有测量正向和反射光传输的能力,非常适合晶圆厚度测量和隔离粒子分析。该机还可以监控接触电阻、回流焊料覆盖、表面粗糙度和介电层厚度等关键参数。其直观的软件界面为晶圆测试和计量提供了一套强大的功能。其中包括3D和多层成像、功能强大的图像分割过滤器、自动化的结果处理,以及一套用于精确测量和缺陷分析的过程后校准工具。软件还具有数据、图像和报告的自定义导出选项。KLA ULTRA SCAN 9300易于安装和维护,旨在最大程度地减少停机时间。其坚固的设计经认证可用于洁净室操作,并且能够承受环境条件,包括振动和冲击。总体而言,ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300是一种可靠、高速、高精度的晶圆测试和计量工具,旨在提供可靠和可重复的结果。它具有自动化、直观的工具和功能,可帮助改进半导体制造过程控制和产量管理。
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