二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9281937 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300晶圆测试和计量设备是一种高性能、非接触式、多模具计量仪器，设计用于先进的半导体开发，产生无与伦比的性能和精度。该仪器的专利体系结构能够在几分钟内从多个角度自动捕获晶片上高达9300个连续模具的超高分辨率图像。成像系统使用LED阵列从四个角度主动照亮晶圆表面。此照明可确保模具的所有特征都可见,并增强结构的对比度。这种照明和专有光学的结合使图像能够以每像素0.63 μ m的有效分辨率形成。原始图像数据收集后,将使用一套集成的高级算法进行处理,以测量各种参数,如模具位置、尺寸和形状、电气特性、设备级屈服和排便。通过重复图像的统计处理和先进的无损检测能力确保测量的准确性，从而实现面向功能的计量。该股还纳入了一个综合分析环境，用于审查结果和有效可视化数据。除了映像和过程分析外,ADE UltraScan 9300还包括高级数据管理工具,可帮助协调和归档测量结果。该机可编程为自动测量执行，可与几个实验室自动化系统接口。此功能允许从单个晶片到全标线以任何频率进行数据收集。KLA ULTRA SCAN 9300提供了令人兴奋的成像、分析和结果管理功能组合,使其成为工业和研究晶圆测试和计量的理想工具。大面积覆盖和极高分辨率的能力确保晶圆上的所有特征都能被准确地表征出来。凭借其高级数据管理功能,TENCOR UltraScan 9300能够长期有效地存储和检索测量结果,使其成为一个非常宝贵的研究工具。