二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105659 待售
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ID: 9105659
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
(3) Receive cassettes
Hi res station
Lo res station
Dual end effector robot
Wafer typing option
ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600是一种高精度晶圆测试和计量设备。它旨在满足半导体行业的严谨需求和高产量的生产要求。该系统具有可靠、可重复和准确的不符合要求检查解决方桉,允许用户以最小的手动努力快速识别晶片上的缺陷。该设备的高速晶片图像扫描和计量技术有助于快速、可靠的晶片检查,能够每小时扫描多达600个晶片。它具有一个集成的视觉子系统和一个全彩色、高分辨率的矩阵区域阵列摄像机,分辨率为3um,可以捕获晶圆上最小缺陷的图像。这种质量的图像扫描能力与近100米分辨率μ光源相结合,以确保精确的缺陷定位和分析。ADE UltraScan 9600还具有正在申请专利的缺陷检测和分类算法,该算法允许实时、自动检测缺陷,同时自动对缺陷类型进行分类。这消除了手工检查和随后审查数据的需要。该机器的强大、快速、可靠、高效的扫描和计量技术满足了最苛刻的生产要求。它使用户能够快速识别晶片上的缺陷,而手动识别所需的时间只有一小部分,从而降低了成本和时间。该工具还具有ATE兼容性,允许从ATE系统快速加载和卸载晶片,以实现高效的生产线运行。此外,KLA ULTRA SCAN 9600还具有广泛的安全协议,确保用户维护安全的工作环境。从易于导航的用户界面、警报监控资产和远程访问功能到获得专利的光束安全模型,设备确保用户能够安全地使用系统而不会损害安全性。TENCOR UltraScan 9600是一个功能强大、高精度的晶圆测试和计量单元,旨在满足最苛刻的生产需求。其先进的扫描计量学技术确保了高精度、快速、可靠的结果,而其集成的视觉子系统和专利缺陷检测与分类算法则使缺陷实时评估成为可能。它的安全特性为用户提供了安全的工作环境,让用户安全使用机器,同时又不会损害他们的安全。
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