二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9200036 待售
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ID: 9200036
Wafer metrology system
Non-contact capacitive probe measurement:
Resolution: 10 um
Wafer thickness range: 400 to 800 Microns
E-PLUS Advanced / Thickness between stations
Signal effector arm robot
9600 Power supply
Non contact P/N type tester
Wafer resistivity: 0.1 to 200 ohm-cm
ADE 350 Arm controller
Auto A probe
ASC Controller
Includes:
Capable of measuring-lapped, etched, polished and patterned wafers - measures bow and warp
Site and global flatness
(2) Cassette input stations
(3) Cassette output stations
Prealigner station
Hi-RES Station
Operation manual
Maintenance manual.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600是为半导体工业制造的最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在为研发科学家提供一套功能强大的模块化测试仪器，用于执行高级晶圆级测量。UltraScan能够自动计量各种测试参数,如应力应变、薄膜厚度、表面特性、电气特性等。它可以高精度测量晶片的结构、性质和化学成分，可用于广泛的表面和深层计量。系统具有514mm ²视野、12.6米μ图像光斑大小和0.6nm分辨率。它每小时最多可处理8个晶圆，工艺吞吐量为每晶圆15至40分钟，具体取决于所需的测量。该单元配备了由电荷耦合器件（CCD）传感器和光学显微镜组成的成像机，用于检测晶圆表面的测量信息。它可以高精度校准读出、分析、存储测试图像。这种成像工具也用于聚焦、定位和执行非接触面对准。该资产能够采集范围广泛的样品，如绝缘体上硅、多层晶片、薄膜、多晶硅、晶片级封装等。它还具有支持多种计量技术的能力，如轴向扫描、应力测试和蚀刻深度。ADE UltraScan 9600由用户友好界面控制和监视。它支持通过本地或广域网传输、分析和存储数据。它配备了支持晶片自动诊断和分类的内置软件模型。最后,该设备设计方便维护和维修.总体而言,KLA ULTRA SCAN 9600是一个功能强大的晶圆测试和计量系统,可提供高度精确的测量,并能够支持一系列用户定义的应用程序。
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