二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9800 #9397208 待售

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ID: 9397208
晶圆大小: 6"
Wafer characterization system, 6" Non-functional parts: ASM 9800 E-Squared module ASM Vacuum chuck, 200 mm diameter.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800是一种最先进的晶圆测试和计量设备,能够获取对高效制造过程至关重要的晶圆级信息。该系统非常适合自动电气测试、成像和微小型/纳米计量应用。ADE UltraScan 9800能够以高达0.05 µm的惊人分辨率对芯片进行成像,并在高速下获得详细的电气特性,如电阻、电容和泄漏电流。这种组合功能对于生产和开发环境都是非常宝贵的,各个点的成像速度可达25kHz。独特的是,KLA UltraScan 9800可以检测到高度分辨率为0.2nm的微小缺陷和障碍物,使其在半导体行业中具有优势。UltraScan 9800还可以测量直径达200mm的半导体基板,其重复性和精度优于± 0.02 µm。其自动化视觉单元执行模具中心和每个单独芯片的快速、精确定位,能够处理不同位置的不同成像区域和分辨率。TENCOR UltraScan 9800最令人印象深刻的特点是视觉补偿能力。这台机器可以执行广泛的基于视觉的操作,例如映射、迭加和成像校正。利用先进的反馈控制系统,ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9800的视觉补偿模块可以在成像条件下自动保持晶片所需的对准和位置。此外,它还可以检测、检查和绘制宽范围晶圆基板上小至0.1µm的缺陷。在安全性方面,ADE UltraScan 9800符合欧盟、美国和日本的标准,并配有用户友好界面面板。所有操作均无润滑,符合FDA、RoHS和CSA规定。此外,该工具还可以与客户现有的软件集成API套件,使其使用更加方便。最后,KLA UltraScan 9800是精确可靠的晶圆测试和计量应用的理想解决方桉。该资产具有高速成像和计量功能,旨在在生产和研究环境中提供可靠的结果。该模型符合各种安全法规及其与现有软件的兼容,使其成为半导体行业的完美选择。
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