二手 ADE / KLA / TENCOR WaferSight #9235753 待售

ADE/KLA/TENCOR WaferSight是一种先进的基于专利白光干涉测量（WLI）技术的串联晶圆测试和计量系统。ADE WaferSight是一种经济高效的无损晶片测试解决方桉,能够测量所有类型的曲面-从宏特征到纳米级深度。该系统的创新设计允许减少周期时间和改进质量控制,提供晶圆缺陷检测和特性识别功能。KLA WaferSight的自动化设置使其能够快速适应各种尺寸、材料和几何形状的晶片,从而能够更快地描述过程缺陷和全局现象。此外,它还提供统计和最小/最大值的串联晶圆测试-从模内测量到跨晶圆测量。WaferSight中集成的光学元件允许对晶圆表面进行高精度3D测量。光学还允许在给定曲面上应用可变跟踪采样,从而能够检测非均匀性和详细的曲面特性。这样可以增强晶圆级缺陷检测和分析,以及对地形进行精确的3D和剖面测量。利用光学衍射，TENCOR WaferSight还可以测量CD、宽度和平坦度的表面和特征特征。此外,ADE/KLA/TENCOR WaferSight还可用于诸如迭加计量、缺陷趋势剖面分析和过程均匀性监测等分析目的。ADE WaferSight的软件可以定制以满足客户需求,提供与过程控制软件的完全集成以及与自动化的集成。可视化和报告选项可通过实时Web浏览器、PDF格式或通过外部报告生成器获得,同时还有大量数据分析技术可用于进一步的数据优化。综上所述，KLA WaferSight是一个串联晶圆测试和计量系统，提供快速可靠的测量，适用于详细的表面表征、精确的3D和轮廓地形测量以及过程控制。它可进一步定制并提供经济高效的性能,使其成为半导体制造过程监控和缺陷检测的理想选择。