二手 ADVANCED ENGINEERING 871 #175668 待售
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ADVANCED ENGINEERING 871(AE871)是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在使制造商能够执行高度精确、复杂的计量任务。该系统的设计使得检查晶圆规格和测量表面特性更加容易。该AE871提供卓越的表面粗糙度、小边缘尺寸的功能、大的测量范围和灵活性。该单元由两个主要组成部分-计量圆顶和计量探测器组成。计量圆顶是一个光学校正的圆顶,保证每个测量点空腔壁的均匀照明。它最大限度地减少了深度变化,并确保了更好的测量精度。计量探针具有可互换的尖端,测量范围广泛的晶圆尺寸和表面特性。AE871机还具有高精度光学探针校准工具。特殊设计可确保资产的校准精度达到10 nm以下的最高精度。该模型允许使用0.25微米分辨率测量指尖大小的特征,总体测量容量范围为0至4毫米。AE871的板载X-Y-Z轴级驱动器设计用于在计量圆顶内保持测量点,确保稳定性和准确性。变速Y轴的可调高度进一步优化了性能,而圆顶的精确对准则允许晶圆的全面积覆盖。AE871设备集成了数据采集和分析软件包,可以进行全面的数据分析。该软件提供了宏和数据处理过程的库。通过这些功能,AE871使操作员能够严格审查和分析数据以进行决策。此外,AE871还附有SCANit-8软件,该软件旨在控制数据采集和处理操作。它可以控制计量探针的位置、测量和存储数据。软件还提供了用于创建、查看和调整数据的图形用户界面(GUI)。总体而言,AE871晶圆测试和计量系统使制造商能够快速准确地进行测量。先进的硬件和软件相结合,使晶圆表面得到全面覆盖,提高了精度和效率,灵活的数据采集和分析操作。此完整的计量包可帮助制造商实现更高的产品质量、更高的生产率和更快的产品周转时间。
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