二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9121584 待售

ID: 9121584
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12" Install type: Stand alone (3) Cassette interface: FOUP, 12" Roll-around ergo station with touch screen Status lamp Options: Slope reconstruction CH analysis Profile grade Discrete inspection Defect review ARAMS (ES8) CE Marked Power requirements: 120/208 V, 8 A, Single phase / 3 Phase, 5-Wire, 50/60 Hz 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一种先进的晶圆测试和计量设备,结合了纳米级监测和过程控制的关键技术。AMAT NANOSEM 3D能够在大面积的纳米尺度上精确测量低至<10 nm的图样和精确的3D成像。它用于评估各种材料和工艺,包括加工、计量和缺陷分析,在广泛的半导体、光电子和纳米材料的应用。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D系统结合了专利光刻/线降解分析(LDA)与板载电子显微镜(EM)断层扫描和自动化材料分析工具。该单元提供完整的3D视场(FOV)图像,显示2D和3D结构的精确细节,以及线缘粗糙度(LER)测量。LDA技术提供了用于检测边缘粗糙度的高级自动化功能,并且可以检测、量化和表征低至几纳米的微小特征。NANOSEM 3D系统具有全自动图像捕获功能、高吞吐量性能和数据实时可视化功能。该计算机包括易于使用的用户界面以及向导和指南,可实现高效、方便的操作。它还具有广泛的高级功能,包括远程和本地操作、高分辨率图像、4-D成像以及专门的分析工具。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D工具旨在优化流程流程并缩短分析时间,同时提供高质量的详细数据。集成平台允许在扩展的扫描深度上分析大面积的阵列,从而以集成的方式全面查看3D结构。此外,该资产能够对测试操作期间收集的数据进行精确分析,并在每个阶段提供精确的图像分辨率。AMAT NANOSEM 3D系统适用于多种应用,如计量和计量辅助过程控制、缺陷检测和分析、线缘粗糙度测量、线宽测量等。该模型非常适合用于半导体、光电子和纳米材料的生产过程。此外,该设备非常适合针对特定应用程序的定制解决方桉。APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D为准确可靠的测试信息提供了最先进的解决方桉。
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