二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9138847 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是为半导体工业设计的先进晶圆测试和计量设备。该系统将3 D成像的优点与专用的自动化功能结合在一起,以处理样品并在晶圆和其他基板上创建临界深度测量。AMAT NANOSEM 3D单元能够测量从0.1 μ m到几毫米的深度,分辨率降至0.01 μ m。它还能够测量表面的轮廓和粗糙度。机器由3 D成像装置和操控工具两个主要组件组成。3D成像设备基于数字成像标准（DIS）技术,能够记录大图像场,同时提供高空间分辨率和准确性。资产配备了专有的3D成像算法，允许对形状、大小和表面形态不同的物体进行大规模的3D成像。此外，它的专利对象识别技术加上各种头部选项使模型能够测量开放空腔和可变平面度。该处理设备可实现自动样品加载和定位,以及各种成像头的手动和自动移动。自动化的样品加载过程使晶片和其他基板的加载和定位能够快速准确。它还支持在需要快速分析不同晶片的情况下进行自动比较成像。此外,系统对操作员进行了全面控制,使操作员能够通过交互方式调整增益和聚焦设置,以改善成像效果。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D单元的测量软件易于操作,可实现直观的工作流控制和数据分析。它能够为样本创建强大的3D表示,从而能够快速识别和查看地形特征。此外,对收集的数据进行分析可以提供有关表面纹理和半径、斜率和宽度等其他重要尺寸的信息。综上所述，NANOSEM 3D机是一种先进的晶圆测试和计量工具，利用先进的成像技术，以高分辨率和准确度测量深度和表面轮廓。它具有自动化的示例处理资产和直观的软件,便于工作流控制和数据分析。该模型非常适合半导体工业，能够对晶圆和其他基板进行快速、准确的成像。