二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9280517 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9280517
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2,000 V
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stage: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20 : 1
Tilt function: 15° (4 Directions)
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Prober current:
Low 5pA
Medium 10pA
High 20pA.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一种高科技晶圆测试和计量设备，旨在为纳米技术器件的表征提供无与伦比的精确度。AMAT NANOSEM 3D利用尖端、先进的技术，如电子束标准光刻、3D成像，以及非接触非均匀性测量，以实现更快、更准确的设备测试。该系统具有恒定位置控制和稳定照明的高速多光束，提供高精度和重复性的高质量图像。应用材料NANOSEM 3D利用先进的模式识别算法来识别电路设计中的关键特征参数。专门的算法可以分析特征边（包括靠近接触区域的边）,并可以精确地识别特征方向,即使它是反向的。这样可以提高电路性能,使测试和测量时间更加准确和高效。NANOSEM 3D中包含一个高精度、非接触、非均匀性的测量单元，以确保纳米尺度特征的均匀性。该机采用垂直和横向扫描相结合的C-V特性，并具有多通道功能，可方便地为各种晶圆结构定制。为了减少测试过程中的开销噪声，AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D包括一个独特的噪声检测和隔离工具。资产采用先进的模式识别算法来识别不同的噪声，包括热和电。使用此功能,用户可以快速检测并隔离可能出现的任何与噪声相关的问题。AMAT NANOSEM 3D坚固耐用,可根据任何生产环境的需要定制。通过模块化设计,可以配置模型以满足任何用户的需求,并可以快速轻松地进行修改以合并新的应用程序。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D是一种综合性晶圆测试和计量设备，旨在提供对纳米技术设备的高级分析。它的尖端技术能够以无与伦比的精确度进行快速、准确和可重复的测试。NANOSEM 3D一定会彻底改变纳米技术的世界。
还没有评论