二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9293620 待售
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ID: 9293620
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一种先进的晶圆测试和计量设备,利用2D和3D技术相结合,产生详细的缺陷成像图像。它具有高功率电子束,可用于创建厚度低至单个纳米的超高分辨率2D图像。这种前所未有的分辨率可以比以往更快地识别和分析晶圆级缺陷。AMAT NANOSEM 3D系统采用高分辨率数字信号捕获(DSC)在微观水平上捕获晶体管和器件电流的微小变化。这使设备能够检测光学显微镜产生的传统图像中未被注意到的潜在缺陷。除了DSC之外,APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D机还整合了MRC(Metrology Raster Capture)技术,产生3D图像,方便分析基板表面介电层结构的细微变化。MRC技术利用强大的激光束在表面上"书写"一个图桉,提供一个基准标记来突出不同的材料和缺陷。使用这两种3D成像技术,NANOSEM 3D工具可以监控超高分辨率产品可变性的实时测量,同时检测纳米级异常模式。这使产品均匀性能够在详细的层次上进行分析,并能快速有效地检测到细微的缺陷。资产还提供了可视化功能,能够"切换"2D和3D视图,以识别可能的物理缺陷。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D模型设计为易于操作,具有用户友好的用户界面。可以根据用户的喜好、驱动程序和后处理来定制设备,以便完全控制和自动化数据分析。它还包括一种嵌入式脚本语言,使用户能够创建用于数据收集、分析和数据共享的自定义脚本。总而言之,AMAT NANOSEM 3D系统是一种先进的晶圆测试和计量解决方桉,它将超精确、高分辨率的成像与强大的计量和缺陷检测工具相结合。强大的2D和3D成像技术、实时测量和自动分析相结合,创建了一个功能强大的单元,为用户提供无与伦比的图像分辨率和缺陷检测功能。
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