二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9298837 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一种晶圆测试和计量设备，利用先进技术的组合，对晶圆上的单个结构和器件提供实时3D表面映射。该系统配有用于纳米级成像的高分辨率光学显微镜、用于边缘检测的CW激光器和用于扩展视场的动态弯曲定位台。集成软件允许在扩展区域内自动采集和分析数据,以及对单个结构进行高速成像。AMAT NANOSEM 3D单元具有出色的成像分辨率和高灵敏度,能够捕获其他技术难以检测的表面特征。CW激光器可提供精确的边缘检测，动态弯曲级可实现扩展的视场成像和快速的阶段设置。高分辨率显微镜和动态弯曲级相结合的特点，使得晶圆表面的小（亚微米）特征能够进行表面成像和测量，并检测到许多微米级的细节特征。除了成像能力外，APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D机器还支持稳健的表面计量。直观的实时环境为缺陷管理、过程优化和故障分析提供了高效的工具。利用高分辨率和远距离分析，表面计量工具能够检测复杂晶圆结构的拓扑和尺寸信息。这种强大的功能组合使NANOSEM 3D资产成为进行全面晶圆分析的理想工具。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D模型是为满足半导体制造的精确要求而设计的综合性晶圆测试和计量设备，适用于研发和小规模生产。该系统结构紧凑,需要最少的安装和维护。设备的所有组件都是完全自动化的,并通过图形用户界面（GUI）进行控制,从而提供用户友好和直观的体验。该机还具有自动校准和错误检测等特点，具有很高的可靠性。