二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供全面的光刻生产测试和故障分析能力。它具有各种特性和功能，使用户能够准确、高效地表征半导体基板上的单层和多层结构，包括前端和互连结构。AMAT NANOSEM 3D具有用于高速自动扫描多个探针的多专业纳米操作阶段，以及用于精确测量和分析的高分辨率数字图像捕获系统。该单元能够以二维和三维（3D）格式捕获高达1024 X 1024像素的图像,这使其成为需要评估底物微小偏差、厚度和材料沉积差异以及结构地形的客户的理想选择。该机采用一系列软件选项构建，包括提供数据文件自动预处理和后处理工具的Optical Tool Kit，以及直接数据导入和导出的软件支持，使分析测试数据更加容易。此外,该工具还与各种软件包集成在一起,例如扫描纳米探针操作软件（SNMS）,它使用户能够将扫描探针精确导航到给定的基板。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D还具有集成的过程监控系统,可用于高效的生产监控和数据记录,以及温度敏感基板的热控制,以确保晶圆过程稳定。此外,该资产还具有用于X/Y运动的机械执行器和用于倾斜和扫描速度闭环控制的监视器。此外，NANOSEM 3D可应用于多种工艺，包括深沟蚀刻、CMP、金属计量和高密度电介质。它旨在提供必要的准确性和可重复性，以保持关键过程步骤和质量标准的质量控制。