二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Reticle NanoSEM 3D #293643450 待售
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ID: 293643450
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
Reticle SMIF, 6"
Dry pump
Standing operator console
SECS / GEM and HSMS
Mini environment
Optical microscope lens:
FOV 450
FOV 6000
Power supply: 400-208 V, 3 Phase, 50Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reticle NanoSEM 3D是一种高精度晶圆测试和计量设备,利用先进的扫描电子显微镜(SEM)技术,实现了集成电路开发的详细3D成像、接触测试和分析。该系统结合了专有的多探针、主动对准(MPAA)级和敏感射频(RF)场发射源,无论试样充电如何,都能提供极高性能的成像。MPAA级可在大小标线图样上提供高达子测距的分辨率,并允许用户获得最高的放大倍率,例如75,000X。这为构建的3D图像提供了最高的尺寸精度,从而实现了卓越的设备开发。AMAT Reticle NanoSEM 3D还配置了先进的电子反向散射衍射(EBSD)检测器,提供高对比度和低噪声图像。它能够成像高长宽比特征,并提供卓越的对比度,即使放大倍数超过1000倍。高性能由经过半导体模式鉴定的机动化级保持,该级通过预定义的固定模式提供了卓越的精度,使各种测试模式能够轻松准确地再现。此外,APPLICED MATERIALS Reticle NanoSEM 3D还集成了经过验证的信号调节和控制单元,以确保最高级别的信号放大、辨别和信号切换,从而提高晶圆测试精度。Reticle NanoSEM 3D是高级IC开发的重要工具。它结合了高分辨率成像、精确定位和电子反向散射探测器,是开发复杂电路和集成系统的宝贵资源。机器真正为先进的电子设计和测试提供一站式解决方桉。
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