二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #293831591 待售

ID: 293831591
Metrology system.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D晶片测试和计量设备是一种高速、高精度的系统,使用先进的算法来测量各种半导体晶片上的基板形态。该单元快速检测晶片表面的危害和不规则性,包括颗粒、碎屑、划痕和不均匀的沉积物。该机包括一系列自动化分析工具和图像处理方法,以快速表征和分析基板的形态。VeraSEM工具的硬件和光学设备旨在快速获取高分辨率的SEM图像和晶圆结构的无损测试数据。资产的自动化分析功能支持自动化缺陷分析、表面粗糙度测量和多级计量。它还包括一个基于激光的3D测量模型,以生成可导出用于进一步分析的3D地图图像。设计了基于算法的缺陷检测和图像分析算法,以提高缺陷检测和污染检测的准确性和速度。算法利用模式识别、分割和形状识别来准确表征缺陷。该系统可以进行各种分析,从确定颗粒大小和位置到表征芯片和划痕,再到测量非均匀沉积。除了缺陷检测和分析,AMAT VeraSEM 3D还能够测量晶圆基板的形态特性。它包括许多功能,以使基板的表面、界面和体积特性的测量和分析成为可能。它可以在多个细节级别上测量表面地形、表面粗糙度、单个特征的表面粗糙度、表面积、厚度变化以及其他形态特征。应用材料VeraSEM 3D是快速准确表征基片表面形态的绝佳工具。它能够快速检测晶圆表面的各种危害和不规则性,并结合自动化图像处理算法和3D映射功能,对基板结构进行详细分析和可视化。
还没有评论