二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9412455 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在原子水平上精确测量电子结构的临界尺寸。它能够使用无损、高分辨率的成像技术和分析技术研究3D微结构。AMAT VeraSEM 3D旨在提供有关设备内各个特征的拓扑和定向的信息,并提供自上而下的特性。该系统的吞吐量高达每小时20个晶圆位置,测量持续时间从几秒钟到几分钟不等,具体取决于特征测量的复杂性。该单元由多个组分组成，包括成像室、扫描电子显微镜和样品制备阶段。成像室是一个润湿的机器和容纳样品，允许成像比适当的设备测量优选的环境。扫描电子显微镜（SEM）是一种超高分辨率的工具，能够产生尺寸小于5纳米的图像。最后，样品制备阶段用于创建用于成像的平坦、干净的表面，以及将样品加工成准备成像的均质层。APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D具有自动扫描类型和扫描路由的功能,允许用户对即时成像和计量以及预定义的3D分析路由进行编程。资产还提供了多种先进的计量能力，如薄膜厚度测量和成分分析、成分映射、高级图像分析等。VeraSEM 3D的性能通过使用其精密的软件进一步提高,该软件能够提供对结果的全面分析。该软件提供数据密集型工具，用于分析和解释可用于设备寿命预测、多层设备模拟和统计过程控制等各种应用的图像和测量数据。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D是一个晶圆测试和计量模型，旨在分析原子水平上电子结构的临界维度。它的高级软件功能允许复杂的扫描、成像和分析过程,可用于各种应用程序。