二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9130176 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM是一种晶圆测试和计量设备,在自动晶圆测试和测量过程中具有高精度和重复性。该系统采用高精度扫描电子显微镜，能够实现0.5纳米的导航精度，以及涵盖设备制造所有阶段的各种测量能力。此外，该单元使用先进的光学识别机来识别器件、活动区域和晶圆上的缺陷。这允许对表面形态和组成、缺陷、薄膜厚度、覆盖配准和掺杂剖面等特性进行精确协调的测量。AMAT VeraSEM还具有自动晶圆处理工具,可确保测试过程中晶圆的稳定性。资产能够处理不同形状、大小和方向的晶片,确保在测试期间保持晶片的方向。此外,该模型还提供了一系列计量工具来测量设备属性,如线宽、迭加精度和厚度,以及用于查看和分析晶圆上纳米级对象的成像功能。该设备还集成了两种集成的涡流测量技术，允许对薄膜厚度、金属膜应力和金属线电阻率进行快速准确的测量。这样就可以更精确地识别和测量薄膜和器件上的金属层。最后,APPLIED MATERIALS VeraSEM得到直观的用户界面和全面的软件的支持,从而简化了数据收集和分析。这使用户能够轻松创建和自定义作业,并通过详细的数据分析创建全面的报告。此外，系统可以与其他系统和设备集成，如鉴别器，使其非常适合同时测试多个不同的设备。