二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9236866 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM
ID: 9236866
晶圆大小: 8"
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM是一个完整的晶圆测试和计量解决方桉,旨在满足高级内存制造过程的需要。AMAT VeraSEM具有强大的成像、分析和校准功能,可轻松集成到现有生产线环境中。应用材料VeraSEM利用先进的光谱成像技术实现超高灵敏度,提供快速测量和快速结果。先进的平台允许使用位于采样阶段的晶片进行准确、实时的数据收集。VeraSEM通过检查材料的2D和3D横截面,对颗粒、纳米颗粒、缺陷和Z高度特性提供卓越的检测和分析。该设备采用了增强型热相干扫描电子显微镜(ThermoSTEM),可捕获和处理各种晶圆几何形状的数百万个数据点。分析提供了对材料、表面电导率、晶粒键、方向和其他关键参数的特殊灵敏度。晶体结构成像由AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM的可定制200-2500V加速电压范围和40-80 nA电流范围实现。AMAT VeraSEM的晶圆映射功能有助于对较小的设备进行全面测试,方法是在晶圆上映射多个感测点或目标区域,以便使用其双位置采样级同时进行测量。高达50kX和高分辨率成像功能的放大倍率可提供高达0.2nm的分辨率。可以通过板载数据存储系统从中央控制站远程监视操作,以存档映像数据。除了APPLIED MATERIALS VeraSEM的核心操作外,还提供了一整套软件解决方桉,以方便晶圆测试的管理、优化和数据分析操作。使用Unit Manager软件,用户可以通过安全身份验证访问整个网络环境中的多个资源。所有的自动化测量操作如缺陷智能、粒子大小、晶圆对称和几何分析都是在Advanced Metrology Suite的支持下执行的。该机器还包括安全的数据备份和归档解决方桉,以确保基本符合行业质量标准。最后,AMAT的VeraSEM为先进的晶圆测试和计量提供了一个很好的解决方桉。强大的成像、分析和校准功能、对远程监视的支持、安全的身份验证和数据存储以及用于数据优化的板载软件相结合,有助于简化平台与各种生产线环境的集成。
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