二手 AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一种自动化晶圆测试和计量设备，设计用于半导体器件的批量生产和主动监控。该系统使用全自动序列测量半导体晶片，包括晶片载波处理、晶片对准、样品放置和计量数据采集。该单元包括一个配有双接头臂的计量站、一个样品载具装载机和卸载机、一个视觉机和一个主轴电机来执行自动表面扫描。坚固和可重复的晶片卡盘使晶片与计量臂精确对齐，以确保测量的准确性和可重复性。计量臂能够进行高精度的亚微米运动，能够以极高的精度测量小型装置和颠簸。KLA AIT I具有用户友好的触摸屏图形用户界面（GUI）。GUI提供实时流程反馈、带有统计流程控制的前馈功能以及用于生产和流程优化的高级数据分析。它还为过程开发和过程工程提供了全面的过程和晶圆工程工具。该工具可以测量多种参数，如表面地形、导电、图像对比度和反射率。它可用于预测和排除热点或故障等问题，监测薄膜厚度和平滑度，检查结构的粗糙度和曲率，表征电阻率，评估半导体器件的排泄率。TENCOR AIT I由提供可靠数据捕获和分析的高级硬件和软件体系结构提供支持。其创新的晶片处理资产确保晶片以高可重复性和准确性加载到工作站。凭借其用户友好的触摸屏GUI和集成的软件工具,操作员可以轻松控制机器并进行快速可靠的测量。该型号可靠、经济实惠，适用于大容量半导体制造。它以先进的图像处理和机器视觉设备提供快速、准确的计量数据。集成的软件工具有助于确定过程趋势并提高产品产量。