二手 ASM Dragon 2300 #9290805 待售
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ASM Dragon 2300设备是为光刻和检查过程设计的最先进的晶圆测试和计量工具。它提供了高端光学和扫描能力,适用于测试各种半导体相关材料,包括薄膜晶体管、硅绝缘体(SOI)和有机发光二极管(OLED)。该系统能够显着减少晶圆测试时间,因为它可以同时对多个晶圆进行异步计量。Dragon 2300具有独特的双轴扫描单元,带有纳米精密旋转头,与两级视频显微镜集成。这种配置确保了晶片表面的快速和一致采样,允许进行检查晶片地形所需的亚微米级测量。此外,该设备还配备了高分辨率成像传感器和用于表征光学特性(如纹理、粗糙度和表面高度)的软件。ASM Dragon 2300提供的另一个有用功能是其强大的嵌入式软件。这包括简化用户与计算机交互的图形用户界面(GUI)和用于实时评估晶圆曲面的自动图像处理例程。软件还可以将测量扩展到其他参数,如晶圆排泄率。此外,Dragon 2300为测量临界尺寸参数,如间隙、宽度、深度等提供了极高精度的集成检测解决方桉。这一特性使得工艺控制和优化成为可能,进而降低晶圆生产成本,提高产量质量。ASM Dragon 2300除了提供尺寸计量之外,还提供了执行缺陷分析和评审的选项。这可以使用高分辨率成像功能以及自动化软件例程来完成。Dragon 2300工具还包括用于快速高效地检查和分析晶片的全自动资产。这包括数据记录功能、部件本地化以及控制流程参数以提高一致性和可重复性的能力。综上所述,ASM Dragon 2300晶片测试和计量模型为光刻和晶片检测提供了先进的先进工具。它的特点允许对晶片的任何缺陷进行快速和准确的评估,从而确保了复杂半导体器件的高效制造。
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