二手 ASM Dragon 2300 #9293646 待售

ASM Dragon 2300
ID: 9293646
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
PECVD System for barrier, 12" 2003 vintage.
ASM Dragon 2300是一种晶圆测试和计量设备,结合了高精度、精确度、自动化和过程灵活性。该系统结合了先进的光学工具、较大的可曝光区域级和强大的软件体系结构,可实现最高级别的过程控制和可重复性。光学工具采用双通光学设计,使设备具有很高的精度和分辨率。Dragon 2300具有高达46毫米的视野和高达290毫米的扩展,为设计、检查和测量各种尺寸的设备提供了前所未有的灵活性。它提供了广泛的视觉功能,包括3D样本重建、用于无损检测的并行/纯功率测量以及自动模具故障检查。ASM Dragon 2300的综合软件包为用户提供了模块化、可扩展和开放的体系结构。作为一个开放平台,机器支持一个广泛的模型和技术库,允许用户根据自己的特定流程要求配置工具。其直观的用户界面为测试和检查的设计提供了选择和帮助。该软件为用户提供了通过正确执行测量和测试程序来最大化过程控制和精度的能力。Dragon 2300还为客户提供了广泛的自动化计量选项。提供了自动真空生成和集成矢量清洗,以及无损检测的自动光学检查。它还支持各种各样的可选功能,如晶圆切片和处理、晶圆映射和手动自动样例阶段交换。最后,ASM Dragon 2300的基础架构能够同时处理多个样本和批次。它的高精度直线电动机允许快速的样品传输,而先进的真空资产提供精确和控制的空气输送可靠的样品处理和自动化计量。Dragon 2300将先进的光学和软件功能与可曝光的大型区域阶段相结合,为多个行业的晶圆测试和计量提供业界领先的准确性和分辨率。这种高度灵活和全面的模型为用户提供了一个设计、检查和测量各种尺寸设备的平台。
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