二手 ASM Dragon 2300 #9294446 待售

ASM Dragon 2300晶圆测试和计量设备是一个用途广泛、功能强大的平台,专为创建以先进领域为中心的过程控制而设计。该系统结合了自动光学检查（AOI）、电阻率计量、介电电容计量和3D剖析计量技术，快速捕获和分析详细的晶圆信息。该单元具有先进的电动晶片级，允许快速和精确的晶片对准，以确保准确的结果。Dragon 2300上的AOI利用亮场成像技术来检测缺陷，如遗失或损坏的图样、污染、薄膜缺陷和短裤。边缘检测等功能可帮助检测其他方法难以检测到的细小缺陷。电阻率计量法利用图样的电阻来获取晶圆前侧面的信息。介电电容计量法可以快速测量一个IC的电容，以及帮助识别给定电路中可能存在的任何短路。利用3 D剖面图测量法，可以将晶片的地形表征到10nm的特征分辨率水平，可用于精确测量小于3微米的精细非导电特征和空隙。该工具还配备了多种图像处理工具，便于对图像进行易于使用的分析，从而能够快速进行产量和有效性研究。这些工具允许探索各种产量参数，并可以生成轮廓图以进行全面的数据分析。ASM Dragon 2300可用于许多其他应用，如晶圆键、化学机械抛光（CMP）、焊料凸点、凹凸高度计量等。可以定制此资产以满足各种过程控制需求。此外，Dragon 2300的设计满足了最严格的重复性和准确性要求，使其成为生产环境的理想选择。