二手 ASML YieldStar S100 #293621217 待售
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ID: 293621217
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Overlay measurement system (IMM, DBO)
(2) Loadports
Chamber.
ASML YieldStar S 100是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在检测缺陷和测量关键尺寸。这种自动光学检查系统能够识别模式和处理多种类型的基板。它具有高精度的3轴直线电机级和先进的高性能成像单元。ASML JIELDSTAR S-100能够在200 mm以下的晶片上检测到50 nm以下的缺陷。它还具有测试多种基板类型和测量各种特征大小的能力,包括线宽和间距、沟槽深度和突起。该机配备了多种先进的成像和模式识别技术,如光谱学、紫外线照明、轮廓识别、图像相关和粒子分析。YieldStar S 100高度自动化,允许在单个测试运行中对晶圆样品进行批处理。它具有多种光学测量设备,如稳定的长距离摄像机和带有集成模式识别工具的自动对焦机构。该资产旨在快速准确地检测缺陷,从而提高产量和生产效率。在数据分析方面,RIELDSTAR S-100提供了许多功能强大的功能。它配备了嵌入式软件库,能够分析缺陷图像,检测缺陷的发生和性质。它还具有先进的模式识别技术,可以识别缺陷的根本原因。这种强大的模型还可以识别模式开发的趋势,并可用于改进质量控制和过程优化。总体而言,ASML YieldStar S 100是一种先进的晶圆测试和计量设备,能够快速准确地检测缺陷和测量关键尺寸。它是自动化的,并提供强大的数据分析工具,使其成为寻求更高产量和更高效生产的半导体制造商的理想选择。
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