二手 ASML YieldStar S100 #293625705 待售

ASML YieldStar S100
ID: 293625705
Overlay measurement system (IMM, DBO) (2) Load ports Chamber.
ASML YieldStar S 100是一种晶圆测试和计量设备,用于半导体器件的表征和分析。该系统具有先进的激光干涉测量精密计量、高通量效率和先进的数据处理和分析软件。ASML JIELDSTAR S-100利用红外对准(IR-LAL)技术减少测试时间,将精度提高到± 10nm。该单元能够测量晶圆结构上的二维和三维结构。它还利用了表面地形、线宽测量、粗糙度映射和缺陷成像等表面表征技术。YieldStar具有较大的动态范围、出色的信噪比和高分辨率,使其能够检测晶圆结构中非常小的变化。它还具有在晶片上执行无损测试的能力,可用于快速检测可能影响设备性能的非常小的过程更改。该机器还能够提供详细的报告和分析结果,从而能够快速有效的决策。此外,还可以针对特定的应用程序需求定制报告。此外,广泛的测量算法库可以满足详细的精度要求,而无需进行广泛的编程或校准。除了这些功能外,YieldStar还提供直观的用户界面和屏幕上的逐步操作说明。它还具有出色的远程控制和数据传输功能,允许在异地存储、分析和导出数据。总体而言,YieldStar S 100是一款高度先进的晶圆测试和计量工具,具有出色的准确性和吞吐量能力,以及直观的用户界面和广泛的测量算法库。是半导体器件表征和分析的理想解决方桉。
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