二手 ASML YieldStar S100 #9205646 待售

ASML YieldStar S 100是ASML开发的晶圆测试和计量设备,用于测量平整度、排泄度和其他关键晶圆参数,以提高产量和可靠性。它使用先进的光学计量，包括空间光干涉显微镜（SLIM）来检查整个晶片，从而提供有关晶片结构及其参数的全面信息。ASML JIELDSTAR S-100包括多达四个晶圆测试和计量系统，每个系统一次能够检测十六个晶圆。它能够测量多达30,000个测量点,具有低地下缺陷检测以及暗场和相移功能。其场内和跨场计量系统测量整个晶圆表面的参数，能够快速完成对暴露和复杂层状半导体的精确测量。YieldStar S 100还提供了强大的软件包，如Advanced BDF Deformable Mirror（ADM），用于高效可靠的计量。这使单位能够在短时间内处理大量的测量点，提高生产率。此外,RIELDSTAR S-100还利用EWF级自动精确移动和旋转晶片。其集成的真空室和空气轴承涡轮机提供无污染的测试环境，从而确保更高的测量精度。ASML "FlexFilm"卡带机用于确保晶片在出厂时达到与出厂时相同的状态,而不会产生影响测量结果的额外处理。总体而言,ASML YieldStar S 100是一种先进的晶圆测试和计量资产,能够为甚至复杂的分层半导体提供全面、准确和可靠的结果。它具有高速测量、低地下缺陷检测、相移能力和无污染测试功能,可减少延迟、优化产量和节省成本。