二手 ASML YieldStar S200 #9193316 待售

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ASML YieldStar S200
已售出
ID: 9193316
Overlay measurement system.
ASML YieldStar S200是一种晶圆测试和计量设备,用于监控半导体芯片的制备和制造过程。该系统检查晶片,识别缺陷,可以测量晶片特征的某些特征。它允许在整个生产过程中对晶片进行分析和跟踪,以确保它们符合所需的规格。该装置设计用于全过程控制,为提高产量和产品质量提供全晶圆级计量。它包括一个扫描电子显微镜(SEM)和其他几个组件用于晶圆缺陷和形状的定量研究。其经过验证的自动化机器为可靠的晶圆图样定量分析提供了最高的可用图像质量。该工具具有极其灵敏的成像资产,允许在任何所需的聚焦深度检测极小的缺陷。ASML YIREDSTAR S 200提供高通量晶圆测试和计量。它提供了对小特征缺陷的自动化分析,从而能够有效地检测和审查缺陷。该模型还允许轻松导出数据以进行进一步分析。该设备还提供强大的数据信号分析功能,能够对密集和复杂的模式进行高精度测量。该系统包括一个高级图形用户界面(GUI),允许快速查看显微镜图像。该设备的操作参数可在此接口上轻松设置。此外,它还提供详细的报告,显示包括平均分析速度、测量精度和缺陷评级在内的信息。YieldStar S200与200和300 mm晶片兼容,非常适合生产不同功能尺寸的设备。它采用坚固的组件设计,即使在长时间的生产运行中也能实现过程稳定性。该机利用动态噪声控制技术降低了SEM成像在生产过程中的噪声水平。这也减少了处理TB数据所需的时间。总体而言,YIELDSTAR S 200是领先的晶圆测试和计量工具。它在生产过程中分析和跟踪晶片的能力确保它们符合所需的规格。它提供高吞吐量的晶圆测试和计量、可靠的组件以及卓越的缺陷检测功能。此资产非常适合生产具有不同特征大小的设备,并通过动态噪声控制技术确保过程的稳定性。
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