二手 ASML Yieldstar S200B #9245628 待售

ASML Yieldstar S200B是一种高精度的计量设备，用于测量晶圆参数和评估平版印刷制造的测试模式。该系统使用户能够分析晶圆制造过程中的质量,包括临界尺寸（CD）、线宽粗糙度（LWR）和临界方向（CO）。测量单元具有用于精确样品传输和对准的一级传输机器人、具有100 x/10x/0.45数值孔径目标的光头、用于样品捕获和自动聚焦控制的XYZ级以及用于增强图像质量的高分辨率液晶显示器。YieldStar还具有可调节的照明和精确的基板卡盘，以消除测试晶圆的反射。机器的图像处理能力包括彩色成像、数字灰度成像、图像比较、基本模式识别和CD计量。它还提供了各种模式分析工具和高级特征，如用于高分辨率特征提取和分析的模式搜索和场密度测量。通过自动对准和测量技术的结合，S200B工具提供了可靠和准确的分析。这些特性在诸如纳米凹凸计量、单设备隔离/表征和微电平/互连分析等应用中特别有用。该资产还具有一个软件套件,它提供对整个测量和分析过程的完全控制,使用户能够快速方便地处理测试结果并生成报告。YieldStar具有多种功能,非常适合半导体行业的广泛应用,如晶圆特性变化分析、缺陷检测和表征、制造工艺开发和优化。