二手 ASML YieldStar S250 #9359414 待售

ASML YieldStar S250是一种晶圆测试和计量设备,旨在实现晶圆参数的快速可靠测量,从而提高产量并始终保持高质量。该系统采用集成的300 mm在线计量模块,具有高通量体系结构。这使得它能够测量晶片参数,如薄片电阻、侧向轮廓、缺陷密度和薄膜厚度,以及相关的设备参数,例如掺杂剂水平、氧化物层厚度和残余应力分布。OCR和OGI设备也可用于检测裂纹或粒子沉降等问题。该装置能够以前所未有的速度和精度测试硅晶片和非硅晶片。它使用了先进的校准技术和优化的开销视场，使机器即使在晶圆不居中的情况下也能进行精确的测量。这样可以确保该工具的性能可靠且可重复。此外，该资产还采用激光干涉测量模型来测量一纳米分辨率的模内临界尺寸。这使设备能够准确确定每个模具上的阵列结构以及它们相对于彼此的位置。YieldStar S250还具有许多防止数据丢失或其他问题的安全功能和技术。它设计用于在受控环境中运行,具有用于闭环过程控制的实时屏幕监控系统,以及用于诊断和故障恢复的自动单元检查。所有这些特性的结合，使得ASML YieldStar S250一个理想的机器监测和分析质量的晶片在大规模生产。通过使用此工具,制造商可以及早发现问题,从而提高总体产量和可靠性。