二手 ASML YieldStar T-200C #293667079 待售
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ASML YieldStar T-200C是为半导体应用而设计的晶圆测试和计量设备,提供精确的空间分辨率和图像质量。它提供了临界晶片参数的精确测量,如模具尺寸、形状、厚度、电阻率和组成。它是一种通用工具,可以测量各种各样的晶圆结构,包括MEMS和高级封装元件。YieldStar T-200C配备了先进的扫描模式成像系统,采用电荷耦合器件(CCD)检测器的直线/像素导向阵列和先进的光学设计。这种光学设计最大限度地提高了晶圆测量的分辨率和精度。设备能够4K-9K分辨率,具体取决于所需响应数据的类型。该机器还设有一个自动测试站。该站用于检索和分析测试结果中的数据,如边缘放置、光刻、层厚度和电阻率。用户可以控制测试站点的数量和进程设置,以调整工具以适应不同类型的晶圆。ASML YieldStar T-200C提供全自动操作和自动校准程序,以实现最大精度。它具有基于Windows的用户友好图形用户界面,可轻松校准、测量和分析测试结果。资产还包括图像稳定功能,使晶圆振动或热膨胀和收缩造成的图像失真最小化。该模型是为工业生产环境设计的,包括广泛的环境监测设备,以确保最佳性能。该系统配备了先进的质量保证套件,其中包括内置的单元诊断、环境测试和自动校准功能。机器还配备了数据记录工具,记录所有测试结果和数据以进行追溯。为了确保最大精度,资产拥有内置的测试算法,以确保精确的测试结果。该模型具有菜单驱动的软件设置,允许用户自定义数据采集过程以满足其特定要求。此外,设备还设有内置库,预定义测试程序,以提高生产效率。
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