二手 ASML YieldStar #9399584 待售

ASML YieldStar是一种高端、先进的晶圆测试和计量设备，用于在各种制造步骤中测量晶圆特性。它提供各种晶圆图样的小而精确的测量，用于生产过程中的临界分析。该系统的核心组件包括顶级晶圆显微镜、高精度定位单元和先进的图像处理软件。显微镜利用离轴、亮场和暗场照明提供晶圆的详细图像。定位机能够在三维空间中精确保持给定的相对位置。这样可以通过多个深度和横截面进行测量。为了测试晶片，可以对YieldStar工具进行编程，以准确扫描样品并测量各种特征。这些可能包括线宽、蚀刻深度和密度水平的临界尺寸。该资产还可用于测量联系人重迭、连续性和收益率。它可以检测表面缺陷，如划痕和凹坑，并测量表面平坦度。此外,它还能够检测插槽、插槽和空腔。从晶片收集的数据反馈到软件中,以便进一步分析。然后软件将各种计算算法用于特征大小和形状分析、统计评估和图表绘制。此外,ASML YieldStar模型还能够提供产品趋势分析和缺陷检测功能。YieldStar是当今半导体制造领域的宝贵工具。它结合了高精度计量和先进的图像处理软件，是检测复杂图样和检测小缺陷的理想选择。这对于生产不断缩小的晶圆尺寸和现代半导体制造中使用的更密集的模式至关重要。通过提高生产质量和精度，ASML YieldStar设备是当今和未来芯片制造中必不可少的齿轮。