二手 BROOKS AUTOMATİON Fixload 6 #293665341 待售

BROOKS AUTOMATİON Fixload 6是一种晶圆测试和计量设备,专为晶圆测试和计量环境中的高吞吐量、准确性和可靠性而设计。该系统拥有最先进的硬件和强大的软件，为半导体生产每小时数百个样品提供精确的参数测量，如晶片厚度、总厚度变化、晶片之间的平整度和晶体缺陷识别。先进的前沿硬件具有基于光电子的多参数传感器单元、用于热成像的高分辨率CCD相机和精密激光位移测量传感器。这确保了晶圆厚度千分之一毫米的精确和可靠的测量，以及晶体缺陷的检测和表征，如空隙、裂纹和针孔。Fixload 6的高速晶片传输确保了快速的数据收集和高吞吐量速率,同时保持了高精度。此外,自动校准功能最大程度地减少了手动校准的需求,优化了性能并降低了拥有成本。该机器的软件提供了一系列全面的分析工具，供科学家和工程师检测和了解各种缺陷特性。其中包括2D和3D分析,以及缺陷类型和大小的精确量化。自动数据提取和分析是通过对诸如表面粗糙度、临界尺寸、模模对准和其他芯片级缺陷等参数进行强大的操作和过滤而实现的。这些功能得到集成映射例程的补充,以实现快速、准确的晶圆阵列。对于连续过程控制,BROOKS AUTOMATİON Fixload 6的用户友好软件包括易于使用的统计过程控制工具和错误缓解算法,以支持配方开发。此外,用户还可以为具有高精度的独特应用程序定制软件。最后,Fixload 6包括一系列高级选项,包括晶圆对准、光学测试以及扩展晶圆测试功能的推拉扫描功能。此工具可集成到任何类型的流程中,以提供优化的数据采集、样本准备和详细分析。凭借其先进的功能，需要快速、精确、可靠晶圆测试和计量的用户可以使用BROOKS AUTOMATİON Fixload 6来满足他们的需求。