二手 BRUKER-AXS Dektak XT #9238090 待售
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ID: 9238090
晶圆大小: 8"
优质的: 2012
Profiler, 8"
With PC
Stylus options:
Stylus radius: 50 nm - 25 pm
High Aspect Ratio (HAR): 200 pm x 20 pm
X/Y Manual leveling:
Manual: 100 mm
Motorized: 150 mm
Sample R-Θ stage:
Manual: Continuous 360°
Motorized: Continuous 360°
Computer system:
64-Bit multi-core parallel processor
Operating system: Windows 9 / 7.0
Measurement technique: Stylus profilometer (contact measurement)
Measurement capability: 2D Surface profile measurements
Sample viewing: Digital magnification, 0.275 to 2.2 mm vertical FOV
Stylus sensor: Low Inertia Sensor (LIS 3)
Stylus force: 1-15 mg With LIS 3 sensor
Vibration isolation
Scan length range with scan stitching capability: 55 mm, 200 mm
Data points per scan: 120,000
Sample thickness: 50 mm
Step height repeatability: 4 A, 1σ, 51 pm (30 scans using a 12.5 pm stylus)
Vertical range: 1 mm
Vertical resolution: 1 A (6.55 pm range)
Input power: 100-240 VAC, 50-60 Hz
Humidity range: ≤80%
Vibration table included
Temperature range:
Operating range: 20°C & 25°C (68°F-77°F)
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT是专门设计用于半导体制造和计量的先进晶圆测试和计量设备。该系统可自动测量硅材料和复合半导体材料晶片上200 mm以下的临界尺寸（CD）和表面地形参数。该单位采用先进技术，如用于高分辨率地形测量的阶梯高度分析和用于非常精确的阶梯高度和地形测量的表单注册（FR）。此外,BRUKER-AXS DEKTAKXT还可以测量电阻、电容和表面屏障电阻等多种电气特性。Dektak XT利用高精度计量学工具，在晶片上确定纳米级特征时提供次埃精度。高效的机器包括计算机控制的Z-motion驱动器和精密X-运动导轨，在不牺牲速度的情况下精确测量晶片上的小特征。DEKTAKXT用于测量微观结构和纳米结构，工作范围为10 μ m至50 μ m。除了晶片的精确测量外,BRUKER-AXS Dektak XT还包括一个符合人体工程学的设计,它具有通向舞台下方区域的宽广、畅通无阻的通道,以实现当今薄晶片所需的无与伦比的覆盖范围。共聚焦光学器件提供了一系列成像功能,可测量高达40 μ m的特征。扫描头允许配置从10 μ m到200 μ m的光斑大小。BRUKER-AXS DEKTAKXT是一种针对半导体制造优化的高度精确的自动化计量工具。台阶高度分析和表单配准等高级功能可以精确测量晶片上的纳米级和微观级特征。其高效的运动控制允许在最大速度下实现次埃精度。符合人体工程学的设计可以方便地进入舞台下面的区域，以便有效地管理快速和精确的测量。各种成像功能和光斑尺寸进一步提高了Dektak XT的多功能性,并有助于对当今复杂的半导体器件进行高效测量。
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