二手 BRUKER-AXS Dektak XT #9282889 待售
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ID: 9282889
晶圆大小: 6"
优质的: 2012
Profilometer, 6"
Operating system: Windows 7
Resolution:
Minimum X resolution: 0.017 microns per point
Full scale ranges: 6.5 microns, 65.5 microns, 524 microns, 1mm
Temperature: Operating range, 20°-25°C (68°-77°F)
Relative humidity: Less than 80% (Non-condensing)
Power demand: 1000 VA maximum
Power connection: Standard outlet
Warm-up time: 15 minutes for maximum stability
Vibration: < 70 µg from 1 to 100 Hz on floor with flat noise spectrum
Vacuum (For optional vacuum chuck):
457 - 635 mm Hg (18 - 25")
0.61 - .85 BAR minimum constant vacuum for system with one fitting for 4 mm (5/32") OD tubing
Clean, dry Air (For optional vibration isolation pads):
Max: 275kPa (40psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Regulator adjustable to 70 - 140 kPa (10-20 psi)
Clean, Dry Air (For optional floor model vibration isolation table):
345 kPa (50psi) clean air with 6.35mm (1/4") OD tubing
Acoustics: < 60 dB(A) across frequency spectrum
Input voltage: 100 - 240 VAC, 50/60 Hz
2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT是一种晶片测试和计量设备，用于硅片的自动质量控制和统计过程控制。BRUKER-AXS DEKTAKXT是半导体工业高效制造高精度晶片的重要工具。Dektak XT的先进技术提供了晶圆涂层横截面剖面、地形和表面粗糙度的快速准确的测量。DEKTAKXT是一种多功能计量工具，设计用于获取晶圆表面的详细信息。自动化系统利用超高精度、非接触式、垂直扫描和无干扰的剖面分析单元来测量裸片和涂层晶片的地形、截面剖面和表面粗糙度。这些地形读数是使用轮廓技术光学剖面仪拍摄的，具有非凡的灵敏度、可选的互锁和样本数据记录器。BRUKER-AXS Dektak XT配备了先进的光电元件，确保最高质量的结果，精度范围从0.1nm到10µm。BRUKER-AXS DEKTAKXT通过获取和量化晶圆表面和边缘附近的晶圆涂层和材料沉积来提供质量保证。Dektak XT还实施了无损检测（NDT）过程,该过程无需销毁样品,从而降低了生产成本。DEKTAKXT还提供高度自动化。它配备了机器人加载/卸载机,具有实时数据采集、数据存档和全方位绘图选项。这使得它的用户可以很容易地存储、访问和比较先前测试过的晶片上的数据以进行快速分析。BRUKER-AXS Dektak XT是先进晶圆测试和计量的完美解决方桉。它确保了精确的晶圆测试、质量保证和成本效益，使其成为半导体行业的理想选择。
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