二手 BRUKER NANO DektakXT #293653435 待售
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BRUKER NANO DektakXT是一个最先进的晶圆测试和计量系统,设计用于半导体制造操作的最佳性能。它能够为许多应用提供准确和可靠的测量,例如半导体过程控制和分析、过程开发和故障分析。DektakXT结合了板载CCD相机和数字信号处理器(DSP),用于高分辨率的光学测量。利用这些组件,BRUKER NANO DektakXT能够对晶圆表面上的各种特征进行精确、可重复的测量。它可以测量线条、沟槽、vias、颠簸和其他特征,无误差精度为0.1µm(0.000004")。测量结果有四种模式:分割、测距、成像和探测.此外,DektakXT的电动XY级允许全自动扫描和可重复测量。BRUKER NANO DektakXT与业界认可的SmartScout软件包集成。该软件便于设计路径,并优化工艺参数以提高产量和成本效益。它还通过全面的统计数据分析深入了解流程性能。总体而言,DektakXT是一个非常可靠的晶圆测试和计量系统。其低噪声操作和高分辨率测量为当今要求苛刻的半导体行业提供了可靠的解决方桉。该系统效率最高,非常适合高精度、低成本的生产和测试。采用板载CCD摄像头和DSP,提供了无与伦比的精度和精确度.此外,SmartScout软件还允许优化过程参数和深入的数据分析,以提高性能。
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