二手 CAMECA Lexfab 300 #293616123 待售
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ID: 293616123
Shallow probe metrology system
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7, P/N: 003-1600-29
VARIAN Turbo-V 81-AG
VAT 02112-BA24-BBJ1.
CAMECA Lexfab 300是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体晶圆的物理和化学性质。该系统旨在提供高精度的晶片测试结果，同时提供卓越的重复性。该设备采用电容耦合等离子体（CCP）源,能够扫描300 mm ²晶片,确保它能够跟上当今快速发展的半导体工业的快速发展步伐。它还包括一个可变压力三波长光谱仪，它能够分析晶圆表面的原子元素，利用来自三个不同波长的信息。然后,这些数据将显示在用户友好的图形报告中,从而能够快速分析和解释结果。除了CCP源和Tri-Wavelength Spectrometer之外,该机还配备了湿蚀阴极发光（WECL）工具。当涂层晶片暴露于高电荷时，这种资产产生强烈的蓝光，有助于识别表面的任何缺陷。该模型还包括一个湿化学蚀刻站，允许去除金属污染物或其他表面污染物。该设备还可用于对晶圆进行光谱成像和制图，从而能够识别任何局部污染区域。然后捕获图像,并以各种格式显示,使用户能够仔细详细检查污染物。系统也是高度模块化的，允许监视和控制压力、温度和提供给等离子体源的功率等各种参数。这样可以确保设备能够快速高效地产生可重复的测试结果。总体而言，CAMECA LEXFAB300是测试、测量和分析半导体晶片的优秀机器。它具有一系列功能强大的工具和功能，使用户能够从其晶圆测试程序中快速获得准确的结果。此外，它的模块化确保工具可以很容易地调整，以适应任何特定测试程序的需要。
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