二手 CAMECA Lexfab 300 #293637179 待售

CAMECA Lexfab 300是一种最先进的晶圆测试和计量设备，用于测量半导体工业中集成电路和其他薄膜层的性能。它旨在满足3-D半导体计量市场的严格要求，实现最高精度和精确测量。CAMECA LEXFAB300配备了高精度光学计量系统，采用高功率、基于激光的自动对焦，可实现极其精确的非接触式3D测量。这包括对临界过程参数的第一类测量,如剖面图、原子力、关键临界尺寸（CD）、线宽、临界角、倾斜度和残余应力。此外，它还可以评估薄膜层的表面地形，以便精确测量半导体器件的性能和可靠性。LEXFAB-300利用先进的光学技术和自动化系统实现卓越的图像质量和测量精度。它包括一个三维多光束扫描功能,它提供了扫描晶圆的不同部分以测量最小特征尺寸的灵活性。该单元配备了高分辨率CCD图像采集和处理机器，能够对亚微米精度进行到亚毫米尺度的测量。Lexfab 300还提供了广泛的软件选项,包括大量的配方和程序库,以简化编程并减少设置时间。它采用高效自动化和用户友好的软件界面设计,使工具直观易用。该资产还提供了一系列可预测的维护和质量控制选项,允许用户评估过程风险并确定产品质量和可靠性的优先级。LEXFAB300是一种先进的、最先进的晶圆测试和计量模型,可提供高精度和高精度的测量。其先进的光学技术和功能提供了卓越的图像质量、自动化的样品处理以及一系列的预测性维护和质量控制选项,以提高晶圆测试和设备性能的效率。