二手 CAMECA Lexfab 300 #293639185 待售

CAMECA Lexfab 300是一种高性能的多模式晶片测试和计量设备。它是一种通用工具，能够进行从原子力显微镜（AFM）到光学光谱的各种测量。该系统为双室结构，顶室充当成像、力光谱等操作技术的AFM，下室充当光学测量的光谱室。AFM本身配备闭环扫描仪，分辨率可达1纳米，扫描速率高达100Hz。光谱室配有光谱仪和多个光源，能够进行反射率、透射率和荧光等测量。该装置还配备了自动晶片处理机，使晶片在两个腔室中的传输变得容易和快速。CAMECA LEXFAB300能够进行各种测量，使其成为研发中的灵活工具。它可以在各种条件下生成一个表面的图像，测量材料特性，如机械刚度和附着力，以及对表面进行光学分析。可用于表征半导体、金属、聚合物、盐等材料。该工具还能够同时从多个晶片收集数据，使其成为质量保证和过程控制的有用工具。可用于迭加测量、缺陷研究、表面平整度检测、工艺参数影响测量等应用。LEXFAB-300是半导体器件制造和计量的重要工具。它旨在最大限度地提高吞吐量和准确性，使其成为研究、开发和过程控制的最佳选择。