二手 CANDELA OSA 5100 #293809915 待售

CANDELA OSA 5100晶圆测试和计量设备是一个集成的解决方桉，旨在提供半导体器件及其相关结构的测量和分析。该系统旨在使半导体工艺工程能够满足当今业界对速度、精度和可重复性的要求,同时达到最高精度和准确性水平。该设备利用扫描声学显微镜（SAM）在10 MHz的单个频率下生成样品的高分辨率声学图像。然后通过专有软件包进一步处理声学图像，以识别小缺陷和其他与结构相关的数据集。通过集成扫描电容显微镜（SCM）和扫描电压显微镜（SVM），该单元还能够从样品中获取非常精细的电气特性。Anilox™干涉测量软件允许折射率（IOR）测量和其他形式的波传播来测量薄膜厚度。这种软硬件工具的组合可以在亚微米水平上快速准确地确定表面拓扑和电气特性。此外，该机还能够测量薄膜中的残余应力，这是现代设备配置中的关键参数。OSA 5100具有多项功能,使其非常适合在晶圆测试和计量环境中使用。首先，它有一个高度可重复，堆叠点注入激光器（LPI）配备了像素阵列探测器，允许多通道粒子光谱深度分辨率高达100 pm。这种LPI和粒子光谱的结合提供了快速、精确的纳米级结构测量。此外,该工具还具有多光谱光电流显微镜（MPM）,用于测量来自单个设备电路的光致电流。此外，该资产还集成了一套可靠的光学计量系统，可用于测量临界维度（CD）以及蚀刻面积和蚀刻面积。该模型还允许同时从晶圆上的多个位置获取数据,从而提高吞吐量。最后，CANDELA OSA 5100还能够将上述功能与全自动序列控制工具相结合，以利于大型测试和计量项目。综上所述，OSA 5100晶圆测试计量设备是一个集成系统，能够以前所未有的速度、精度和可重复性提供测量和分析。该单元是任何寻求突破半导体工艺工程边界并实现最优器件表征的人的理想解决方桉。